第三代半導體POWER UP 設備安全再提升

由於新型冠狀病毒（COVID-19）疫情肆虐，人們的生活模式也因此改變，對於遠距教學與商務會議的需求也隨之增加，加速了5G、IoT、AI等產業發展，進而使得半導體需求與日俱增。挾著市場的強大動能，第三代半導體也在近期強勢登場。它採用了新的材料碳化矽（SiC）、氮化鎵（GaN），能承受更高電壓和更大電流，對於各產業的發展都將帶來更多的益處。但在提升半導體品質與產量的同時，我們仍需要注意製造設備的潛在風險，避免作業人員受到危害。

高性能的新一代半導體，需要更安全的製造設備

第三代半導體除了擁有高壓和高電流的優勢外，還具備更佳的導電性，這些優點讓新一代半導體能不受嚴苛的工作環境影響正常運作。由於第三代半導體的電氣性能大幅提升，它需要更安全的製造設備。

目前使用高電壓的半導體製程設備，多以國際半導體產業協會的SEMI S22（半導體製造設備電氣設計安全基準）為基準來預防電氣所產生的危害，保障操作人員的安全(表１)。在進行耐壓測試時會輸入最多一分鐘的1500V交流電，來確保設備能承受高壓且不受損。機器在故障時電流應該要順利地流往地面，因此，接地阻抗測試將會測量製程設備的接地端電阻是否小於0.1 Ω。而設備表面上暴露的漏電流是操作人員在作業過程中最容易接觸到的危險，為最小化觸電風險，接觸電流測試要求其表面不得有超過3.5mA的電流。

製造設備的安全，和半導體技術一樣需要與時並進。華儀的SE 、ESA以及EST-300系列安規測試儀器皆能符合SEMI S22所要求的耐壓、接地阻抗以及接觸電流測試。即使同樣在半導體產業鏈下，客戶仍會依測試需求會選擇不同的解決方案。針對精密度高的半導體設備，許多客戶會選擇具備高精度測量的華儀SE系列安規綜合分析儀。

表1: 電動車電池電氣安全測試

讓華儀來守護半導體產業的安全

第三代半導體的發展將會帶動5G、IoT、AI、電動車等產業更加蓬勃發展，同時我們更要確保半導體的相關製造安全，以更新的技術與更完善的安全打造美好的未來。

華儀電子擁有超過40年以上的產業經驗，成功協助許多半導體產業的公司解決其電氣安規測試的相關問題。我們也與國際實驗室一同努力，確保半導體製造設備有足夠的保護能保障操作人員的安全。如果您想了解更多關於電氣安全，可以點選這裡，瞭解完整的測試資訊，或是聯繫我們的銷售人員進行諮詢。